3D MEMS传感器深入应用市场

　　VTI科技在第九届电子峰会（Electronics Summit2011）上重点介绍了其三维MEMS(3D MEMS)传感技术，它更加安全、高效、高质量，并能带来更低的功耗。

　　VTI科技副总裁兼北美区总经理Scott Smyser介绍说：“3D MEMS传感器由带有金属电容板的底座、带有运动感应结构的中间层和顶盖三个不同的硅层用玻璃粘合在一起组成，每层都有金属薄膜形成电极，从而成为电容式传感器，它可以在三个正交的方向上检测到加速度。”VTI的各种产品组合包括陀螺仪、加速度计、谐振器和振荡器、压力测量计。3D MEMS传感器是理想的植入式医疗装置，具有准确性、可靠性、体积小、功耗低等优点。作为一家拥有20多年MEMS行业经验、年出货量达3000多万个传感器的全球最大独立MEMS厂商之一，VTI科技的核心技术是3D MEMS传感器。

　　2010年，VTI产品在汽车市场的增长非常显著。“如果所有汽车配备电子车身稳定系统(ESC)，就可以挽救交通事故中更多的生命。”Scott Smyser介绍说，一些应用如车辆的防抱死系统(ABS)、电子车身稳定程序(ESP)、电动手刹(EPB)、斜坡起动辅助(HAS)、胎压监控(EPMS)、引擎防抖和车内心跳检测等在汽车电子中的需求非常旺盛。

　　MEMS器件最早的批量应用源于汽车电子产业，但随着近年来消费电子领域的创新不断涌现，消费电子、医疗领域也已经成为MEMS新拓展的应用市场。VTI在消费电子领域的产品包括应用于便携电子产品的加速度计和陀螺仪，其产品以小尺寸、低功耗和精度为重点。“人口老龄化滋生了更多远程监护的需求。每一分钟，在世界上某个地方，一个包含VTI加速度计的心脏起搏器都被安装于患者体内，让他获得更好的呵护。”Scott Smyser告诉记者，健康保健领域带来了MEM传感器的第三次浪潮，也被VTI科技视为高价值市场。

　　基于其3D MEMS传感器的3轴陀螺仪CMR3000是VTI科技最近主推的产品，该产品将陀螺仪通过SPI数据口输出，其特殊的制造工艺确保产品在使用中的高度可靠性。CMR3000主要应用于要求低功耗和大量程的消费类电子行业，如游戏的输入设备、各种电子设备的遥控和安全监控以及手机行业。随着各种新的应用不断出现，MEMS传感器产业将更加红火。